多年來VLSI 設(shè)計(jì)中的“十進(jìn)規(guī)則”一直支配著允許的*大顆粒尺寸,例如對(duì)1.5μm 的設(shè)計(jì),要求其顆粒不得大于0.15μm.Dr.Lou Sarto 說“為了消除致命的缺陷,隨著半導(dǎo)體器件線寬的縮小更有必要檢測(cè)愈來愈小的粒子沾污”.但是,當(dāng)高純水設(shè)備的出水中允許的粒子尺寸和其總數(shù)急劇下降時(shí),粒子數(shù)的計(jì)數(shù)和對(duì)超純水質(zhì)的評(píng)價(jià)也日益困難.顆粒的來源眾所周知,超純水中所含的雜質(zhì)有細(xì)菌、無機(jī)離子、總有機(jī)碳、SiO_2和微粒等.